FEMAG是一款晶體生長(zhǎng)多物理場(chǎng)仿真軟件，擁有晶體生長(zhǎng)工藝模擬技術(shù)和多物理場(chǎng)耦合仿真分析功能，可模擬各種晶體生長(zhǎng)工藝，在半導(dǎo)體芯片、太陽(yáng)能光伏、化合物半導(dǎo)體和人工晶體、單晶高溫合金等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。

一、FEMAG軟件優(yōu)勢(shì)

1、模型先進(jìn)，算法效率高，求解精度高

通過(guò)建立先進(jìn)的、考慮多種耦合效應(yīng)的傳熱、湍流等全局有限元模型（準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)模型、逆向動(dòng)態(tài)、直接動(dòng)態(tài)模型），基于非結(jié)構(gòu)化網(wǎng)格而開(kāi)發(fā)的Navier-Stokes求解器，結(jié)合Newton-Raphson迭代法，可以準(zhǔn)確地求解晶體生長(zhǎng)過(guò)程中的多尺度復(fù)雜問(wèn)題。

2、爐體設(shè)計(jì)技術(shù)成熟，優(yōu)化生長(zhǎng)過(guò)程效率高、方便

可以對(duì)復(fù)雜的軸對(duì)稱(chēng)/非軸對(duì)稱(chēng)熱場(chǎng)進(jìn)行全局模擬，提供用以預(yù)測(cè)復(fù)雜系統(tǒng)中物理變量的信息，從而幫助用戶(hù)有效預(yù)測(cè)、控制晶體中的缺陷以及形狀，改善、優(yōu)化晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)全局熱場(chǎng)溫度分布與晶體生長(zhǎng)中特有的工藝參數(shù)，優(yōu)化晶體生長(zhǎng)的工藝過(guò)程與質(zhì)量，滿(mǎn)足對(duì)生產(chǎn)質(zhì)量高、低成本、高使用壽命晶體的實(shí)際需求。

3、具有區(qū)熔法生長(zhǎng)工藝仿真分析功能

具有豐富、全方面的分析功能，可以用于分析、優(yōu)化不同的晶體生長(zhǎng)工藝過(guò)程，有效地全局模擬分析復(fù)雜的2D/3D多場(chǎng)耦合問(wèn)題；具有區(qū)熔法生長(zhǎng)工藝仿真分析功能的晶體生長(zhǎng)數(shù)值模擬軟件。

二、產(chǎn)品模塊  

? FEMAG/CZ 提拉法晶體生長(zhǎng)仿真模塊

? FEMAG/CZ/OX 化合物提拉/泡生法晶體生長(zhǎng)仿真模塊

? FEMAG/FZ 區(qū)熔法晶體生長(zhǎng)仿真模塊

? FEMAG/DS 定向凝固法晶體生長(zhǎng)仿真模塊

? FEMAG/VB VB/VGF法晶體生長(zhǎng)仿真模塊

? FEMAG/HEM 熱交換法晶體生長(zhǎng)仿真模塊

? FEMAG/PVT 物理氣相傳輸法晶體生長(zhǎng)仿真模塊

? FEMAG/TMF 外加磁場(chǎng)功能模塊

三、功能特點(diǎn)

? 爐內(nèi)溫度分布計(jì)算

? 多組加熱器布置、加熱器功率預(yù)測(cè)

? 溫度控制點(diǎn)設(shè)置

? 凝固界面形狀預(yù)測(cè)與溫度梯度分布計(jì)算

? 爐內(nèi)全局熱通量計(jì)算

? 全方面的熔體、氣體流動(dòng)模型

? 摻雜物濃度分布預(yù)測(cè)

? 熱應(yīng)力計(jì)算

? 點(diǎn)缺陷與微缺陷濃度預(yù)測(cè)

? 可與TMF模塊耦合建立多種外加磁場(chǎng)

? 多種求解模式適應(yīng)不同的計(jì)算需求

四、應(yīng)用領(lǐng)域

? 光學(xué)級(jí)單晶鍺的生長(zhǎng)

? 晶體生長(zhǎng)熔爐的設(shè)計(jì)

? YAG功能晶體的生長(zhǎng)

? GaAs、CdTe晶體的生長(zhǎng)

? 半導(dǎo)體、集成電路級(jí)單晶硅的生長(zhǎng)

? 第三代半導(dǎo)體材料SiC晶體的生長(zhǎng)

? 太陽(yáng)能光伏單晶硅、多晶硅錠的生長(zhǎng)

? 航空發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪葉片單晶高溫合金的生長(zhǎng)

? 氧化物（藍(lán)寶石）、鹵化物等LED光電晶體的生長(zhǎng)